3D-Laserschreiben im Nanometermaßstab

Piezoantriebe treiben die Technik voran

Erschienen in: antriebspraxis - 01/2009

Autor: Steffen Arnold und Ellen-Christine Reiff

Größtmögliche Positioniergenauigkeit ist heute in vielen Anwendungsbereichen obligatorisch. Nanopositioniersysteme mit piezoelektrischen Aktoren sind meist das Mittel der Wahl. Aufgrund der Leistungsmerkmale erschließen sich den präzisen Positioniersystemen immer wieder neue Einsatzbereiche. Neue Laserlithografiegeräte beweisen es.

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